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插片-清洗-分选连线

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背景

    减少人员搬运,降低人员作业强度,实现生产自动化 


结构

    采用六轴机械手携带第七轴,配合翻转机构,进行一拖二模式的“花篮”移载(上满料,回空篮)

 

效益

    减少作业人力1人/班,同时避免人员搬运时对硅片及花篮的损坏